臭氧-生物活性炭工艺结合了臭氧工艺和生物活性炭工艺，净水前通过臭氧预氧化，对于无机物，臭氧在水中可以有效地将其中的溶解性铁，锰等无机离子转化成难溶解性氧化物从水中沉淀出来，从而在混凝沉淀与过滤中去除。而对于有机物，臭氧分子与有机污染物间的直接氧化作用缓慢且有明显的选择性反应。

另一种是臭氧被分解后产生羟基自由基间接地与水中的有机物作用。在臭氧后氧化中增加水中的溶解氧，有利于后继生物活性炭上好氧微生物的生长。

生物活性炭滤池位于臭氧接触池之后，活性炭因其内部具有发达的孔隙结构和巨大的比表面积从而用微孔吸附的方法去除有机物，活性炭的吸附性也可经济有效的去除嗅，味，色度，农药，放射性有机物及其其它人工合成有机物。

由于活性炭是一种兼有吸附，触媒和化学反应活性的多功能载体。好氧微生物群落可以分散在炭段表面，也可以成膜覆盖在整个炭粒外表面，形成生物活性炭，这样可以发挥生化和物化处理的协同作用，从而延长活性炭的工作周期，大大提高处理效率，改善出水水质，并能处理那些采用单纯生化处理或活性炭吸附法所不能去除的污染物质。